关键字:
曝光机系列
 
规格参数
曝光框架
采用伺服驱动双框架,独立参数设置
相机视野尺寸
5MM*5MM
光源
平行光源
产速
2~2.5panels/min
操作界面及语言
17”工业显示器,中英文界面
设备使用环境
10.000级无尘室
做板尺寸
MIN:305MM*250MM
曝光最大升温
MAX+2℃
MAX:534MM*610MM
照度分布均匀性
534*610MM>85%
板厚范围
0.1MM~2.0MM
平行半角
Θc/2<1.5°
底片尺寸
610MM*660MM
倾斜角
Θd/≤3°
出光照度
18MW/CM²(曝光面未经玻璃照度)
设备空调尺寸
1150MM*850MM*2200MM
相机数量
2个或4个(可选择)
电源需求
220/380V,60/50HZ,3φ 4W.19KVA
灯光波长
365nm
冷却水要求
2.5~3KG,7~10℃,60L/MIN
设备控制方式
全机采用工业电脑系统控制
空压要求
150~200L/MIN12mm5.5KG/CM²
解析能力
65μm/65μm(显影后)
曝光玻璃
强力钢化高透光玻璃
底片固定方式
底片真空吸附
设备外形尺寸
3300MM*1500MM*2350MM
照度分布均匀性
534*610MM>85%
灯类型
超高压短弧汞灯5KW
空调尺寸
1150MM*850MM*2200MM
上下底片重复精度
2CCD≤10μm