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规格参数
曝光框架
采用伺服驱动双框架,独立参数设置
相机视野尺寸
5MM*5MM
光源
UV LED光源
产速
1~1.5panels/min
操作界面及语言
17”工业显示器,中英文界面
设备使用环境
10.000级无尘室
做板尺寸
MIN:305MM*250MM
曝光最大升温
MAX+2℃
MAX:534MM*610MM
照度分布均匀性
534*610MM>85%
板厚范围
0.5MM~3.2MM
平行半角
Θc/2<1.5°
底片尺寸
610MM*660MM
倾斜角
Θd/≤3°
出光照度
18MW/CM²(曝光面未经玻璃照度)
设备空调尺寸
1150MM*850MM*2200MM
相机数量
4个
电源需求
220/380V,60/50HZ,3φ 4W.19KVA
灯光波长
395nm
冷却水要求
2.5~3KG,7~10℃,60L/MIN
设备控制方式
全机采用工业电脑系统控制
空压要求
150~200L/MIN12mm5.5KG/CM²
解析能力
65μm/65μm(显影后)
曝光玻璃
强力钢化高透光玻璃
底片固定方式
底片真空吸附
设备外形尺寸
2500MM*1500MM*1800MM
照度分布均匀性
534*610MM>90%
灯类型
UV LED<3KW
空调尺寸
内置空调
上下底片重复精度
2CCD≤10μm